ミタニ マイクロニクス九州株式会社

新規事業参入や部署異動、「新人なのにマスク調達の担当になった!?」などマスク手配に初めて関わるお客様にとって、とかく「マスクは、難解でややこしいもの」とお感じになるのも無理はありません。
ミタニマイクロニクス九州では、マスク製作初心者のお客様であっても、ご発注仕様書の作成から納品までの手順からノウハウまで丁寧にアドバイスをさせていただきます。
マスク製造にあたり、お客様のご担当として経験豊富な専門スタッフが１名つき、お客様のご要望やご要件（仕様）をお伺いしながら、作業を進めさせていただきます。その際、図面支給からCADのオペレーション、マスク描画、検品・ご納品にいたるまで、お客様の知識や経験を問わず、より具体的でわかりやすいご説明をさせていただきます。お客様との十分なお打ち合わせとご説明の上で、ご要望（仕様、納品期間、製作費、納品条件……etc.）にベストマッチしたマスク製品をご提案させていただきます。
もちろんご発注前のご質問についても同様に承りますので、ご質問やご相談がございましたら、ご遠慮なくお問い合わせください。

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クロムマスク製造を例に、各工程を写真にてご紹介いたします。STEP1～7まで専門スタッフによる丁寧な作業によってクロムマスクが作り出されます。他のマスクでも、ほぼ同様のプロセスを経てマスク製造を行います。

DXF・DWG・GBR・GDS IIなど、ほとんどの業界標準のファイル形式にご対応できます。お客様がお持ちのデータをいただき、マスク製造が可能かどうかを検討させていただきます。

フォトマスクを描画するためにご支給いただいた図面、データから実際に作製するマスク（フィルムマスク、エマルジョンマスク、クロムマスク）種類、精度に合わせた描画機を動かすためのデータを作ります。

描画用に作成したデータを、フィルム、エマルジョンガラスマスク、クロムブランクス用などの各レーザー描画機で描画を行います。
クロムブランクスとは、研磨したガラスの表面にナノレベルの厚みの金属（クロム）を着膜し感光レジストを塗布したものです。

マスク描画した（フィルム、エマルジョンガラスマスクは現像までで終了）、クロムブランクスは現像し、レジストを除去。レジスト以外の箇所のクロム膜をエッチングで取り除きます。エッチングとは、化学薬品などの腐食作用を応用した塑形ないし表面加工の技法のことで、クロムマスクでは、レジストで覆われた部分以外のクロム膜をガラス表面から除去します。

自動検査装置で欠陥の有無を検査します。自動測長機で指定箇所を測長します。ミタニマイクロニクスでは、最新の検査装置を完備。また、熟練の技術者によっても検査・検品を行い、お客様のご希望の精度、品質となっていることを確認、検証します。

製品規格に合わせて修正が必要な場合、信頼性の高いCr膜によるスパッタリング修正を行います。サイズに指定がある場合は、指定サイズにカットします。

マスクの再検査・仕上げ洗浄を行います。ケースに納入後、検査表を添付し、梱包出荷します。
STEP１から７までお客様のご希望に合わせた期間でマスク製造・納品が可能です。

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スクリーンマスクが、どのように作られているかを工程ごとに説明いたします。STEP1～7まで、専門スタッフによる丁寧な作業によってスクリーンマスクが作り出されます。

原版となるフォトマスク（フィルム・ガラス）を作製します（製造工程は、マスク手配の基礎知識１／フォトマスク製造フローのSTEP1～3をご参照）。一度、作製すれば同じ原版で何度でもリピート版を作製できます（ただし、キズや劣化がない場合に限ります）。

ストレッチとは、紗張り機に製版枠をセットしてその上にメッシュを張ることです（引っ張ることによりテンションをかける）。メッシュの選定は印刷パターンの幅や印刷したいペーストの厚みなどにより、材質、メッシュ数などを決定します。
メッシュの材質にはポリエステルやステンレスが一般的です。枠への張り付けは直（じか）張り、コンビネーションがあります。

乳剤をメッシュ面に塗布します。指定膜厚になるまで塗布と乾燥を繰り返します。乳剤は印刷用途に応じ数種類用意しております。

STEP3にてコートした版の指定位置にフォトマスクを合せ、固定します。露光機で紫外線を照射しフォトマスクを通し乳剤を硬化させます。この時、フォトマスクの黒化（パターン）部が印刷部となります。

未硬化部を水により洗い流すことにより印刷パターンを形成します。

自動検査装置で欠陥の有無を検査します。自動測長機で指定箇所を測長します。ミタニ マイクロニクスでは技術者によって検査・検品を行い、お客様のご希望の精度、品質となっていることを確認、検証します。

製品規格（膜厚等）に合わせて修正が必要な場合はこの時点にて修正します。その後に再検査を行い、検査表を添付し、梱包出荷します。
STEP1から7までお客様のご希望に合わせた期間でマスク製造・納品が可能です。

スクリーンマスクはたくさんの工程を経て作製されます。どんなパターンをどのくらいの厚さで印刷を行いたいかにより、使用するメッシュの種類、番手、乳剤の種類、厚みを決定する必要があります。ミタニ マイクロニクスの営業マンが充分な打ち合わせのもと、お客様のご要望にそえるようお手伝いいたします。