ミタニ マイクロニクス九州株式会社

クロムマスクの特長

通常クロムマスクには、大きく分けて2種類のベース材料があります。１つが、比較的な安価な青板ガラス材（ソーダライムガラス（SL））、もう1つが、熱膨張係数が小さく、光の透過率の高い合成石英材（クオーツ（QZ））です。その他にも、特殊なベース材料（パイレックス、テンパックス、BK7等）を使用したものがあります。

クロムマスク材料の特性グラフ

ガラス諸特性表

クロムマスクは、まずスパッタリング※ 装置を使用してベース材料の上にクロム膜を薄く着膜（ハレーション防止の酸化クロム層を含めて80～110nm程度の厚み）。次に、感光性のレジストを塗布、露光・現像し、その後クロム膜をエッチッグ液でエッチングを行います。最後に、レジスト膜を除去し、洗浄から測長、検査、仕上げ洗浄を行い、露光用パターン（キャリブレーション用パターンなどを含む）を形成します。

• ※　「スパッタリング」とは、真空中に不活性ガス（主にArガス）を導入しながら基板とターゲット（成膜させる物質Cr等）間に直流高電圧を加え、イオン化したArをターゲットに衝突させて、はじき飛ばされたターゲット物質を基板に成膜させる方法

描画装置、描画モードによる（クロムマスク）パターン再現性の違い（社内比較）

描画参考

クロムマスク材料表

下記サイズや材料以外のマスク製造にも対応できます

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1. ペリクル付きクロムマスク（片面仕様、両面仕様対応可）

投影式露光機を導入の際には、是非ともご検討ください。
高精細化に伴い、ペリクル付きマスクを使用する事で異物による歩留り低下を低減します。
※ペリクル種類やサイズ等、お気軽にご相談ください。

2. フォトマスク（ガラス）外形加工、切削加工各種

加工形状（凹凸、溝加工、穴あけ等）サイズ等につきまして、ご相談ください。